লিথোগ্রাফি মেশিনের স্থিতিশীল অপারেশন বজায় রাখার জন্য, লিথোগ্রাফি মেশিনের ভিতরে একটি শীতল সিস্টেম স্থাপন করা প্রয়োজন।লিথোগ্রাফি মেশিনের শীতল সিস্টেম প্রধানত জল শীতল অন্তর্ভুক্ত, জোরপূর্বক বায়ু শীতল, রেফ্রিজার্যান্ট, হাইড্রোজেন এবং হিলিয়াম এবং অন্যান্য উপায়, যার মধ্যে জল শীতল প্রধান স্রোত।লিথোগ্রাফি মেশিন ভিতরে জল শীতল সিস্টেম জল পাইপ মাধ্যমে অভ্যন্তরীণ রেডিয়েটর মাধ্যমে পানি পাস, অভ্যন্তরীণ উচ্চ তাপমাত্রা অংশ মাধ্যমে প্রবাহিত যখন তাপ অপসারণ, এবং বহিরাগত রেডিয়েটর মাধ্যমে তাপ dissipates,এইভাবে লিথোগ্রাফি মেশিনের ভিতরে নিম্ন তাপমাত্রার পরিবেশ বজায় রাখা এবং লিথোগ্রাফি মেশিনের স্থিতিশীল অপারেশন নিশ্চিত করা.